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型号 | 描述 |
EPS150COAX | 应用于直流参数测量的150mm手动探针系统 |
EPS150COAXPLUS | 应用于直流参数测量的150mm手动探针系统（探头悬停控制） |
EPS150TRIAX | 应用于低噪声参数测量的150mm手动探针系统 |
EPS150RF | 应用于射频应用的150mm手动探针系统 |
EPS150MMW | 应用于MMW、THz应用以及负载牵引测试的150mm手动探针系统 |
EPS150FA | 应用于失效分析的150mm手动探针系统 |
RFgenius-xx | 测试频率达到4.5/6.5/9/14/20/26.5 GHz的一站式解决方案 |
产品特性
*灵活性适合众多的应用，如 RF、毫米波、亚太赫兹 (sub-THz) 特性分析、FA、DWC、MEMS、光电测试
*可重新配置和升级以应对需求提升
*限度地缩短了设置时间，不牺牲性能或准确度
*各种不同测量仪器的无缝集成
*内置隔振解决方案
*高度准确的测量结果
*DUT载物台可拉出设计
产品应用
*同轴电缆–直流参数测试，低至pA级别
*Triax –低噪声测量，低至fA级别
*射频测试高达67 GHz
*mmW-70 GHz直至THz频段的负载牵引
*故障分析与设计调试
*晶圆上功率器件的表征
定制手动探针测试系统
可根据客户需求提供定制化探针测试系统。
探针台是半导体（包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器）行业重要的检测装备之一，其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。在芯片的设计验证阶段，主要工作是检测芯片设计的功能是否能够达到芯片的技术指标，在检测过程中会对芯片样品逐一检查，只有通过设计验证的产品型号才会量产。
产品特性
定制化
低成本
结构简单易于操作
产品应用
晶圆测试
封装芯片测试
